作為第三代半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)所必需關(guān)鍵耗材，石墨托盤長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)所壟斷。從甬江實(shí)驗(yàn)室熱場(chǎng)材料團(tuán)隊(duì)獲悉，該團(tuán)隊(duì)通過(guò)工藝創(chuàng)新，成功制備出耐高溫、耐腐蝕的高純碳化硅涂層托盤。眼下，該成果已實(shí)現(xiàn)初步量產(chǎn)，并打入國(guó)內(nèi)多家知名企業(yè)的供應(yīng)體系，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵部件國(guó)產(chǎn)化奠定了基礎(chǔ)。
瞄準(zhǔn)新材料開(kāi)展前沿科學(xué)研究，突破關(guān)鍵核心技術(shù)，全力打造世界級(jí)新材料創(chuàng)新策源地。作為新材料領(lǐng)域唯一的省實(shí)驗(yàn)室，揭牌一年來(lái)，甬江實(shí)驗(yàn)室已引進(jìn)落地包括熱場(chǎng)材料、新型顯示與感知技術(shù)等在內(nèi)的8支研究團(tuán)隊(duì)、20多名學(xué)術(shù)帶頭人和近百名科研骨干，信息材料與微納器件制備平臺(tái)等多個(gè)高能級(jí)科研平臺(tái)建設(shè)正加速推進(jìn)。
人才是實(shí)驗(yàn)室的第一資源。甬江實(shí)驗(yàn)室謀劃制定多元化引才計(jì)劃，首批推出甬江燈塔、領(lǐng)航、舵手、翹楚、新秀等多層級(jí)人才計(jì)劃，梯次引進(jìn)戰(zhàn)略科學(xué)家、學(xué)術(shù)/技術(shù)帶頭人、科技骨干和青年科研人才。
“不光看實(shí)力，也看潛力。”甬江實(shí)驗(yàn)室相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，人才評(píng)審過(guò)程，他們邀請(qǐng)政府規(guī)劃部門、產(chǎn)業(yè)界以及學(xué)界三個(gè)方面專家共同參與，“既要研究方向足夠前沿，也要看與國(guó)家乃至地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃是否匹配。同時(shí)，實(shí)驗(yàn)室給予人才充分的自由度來(lái)提出未來(lái)科研設(shè)想，并提供個(gè)性化、適配化科研資源。目前，實(shí)驗(yàn)室高層次人才中90%以上的科研人才都來(lái)自世界頂尖學(xué)府、一流研發(fā)機(jī)構(gòu)?！?/span>
長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體新型材料研究的“80后”博士薛運(yùn)周前不久加入甬江實(shí)驗(yàn)室?！鞍雽?dǎo)體材料研究極富挑戰(zhàn)，加入甬江實(shí)驗(yàn)室主要是因?yàn)榇蠹曳较蛞恢?，接下?lái)將和團(tuán)隊(duì)一起加大細(xì)分領(lǐng)域攻關(guān)力度，爭(zhēng)取早出成果?！?/span>
引才需要平臺(tái)支撐。圍繞新材料科技前沿和國(guó)家戰(zhàn)略，深入調(diào)研浙江產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展需求，甬江實(shí)驗(yàn)室已布局建設(shè)7個(gè)研究中心。同時(shí)，加緊謀劃構(gòu)建高能級(jí)平臺(tái)體系,信息材料與微納器件制備平臺(tái)、材料分析與檢測(cè)平臺(tái)將于今年建成投入使用，成為支撐高水平研發(fā)的創(chuàng)新“利器”；工程驗(yàn)證與成果轉(zhuǎn)化平臺(tái)去年底啟動(dòng)建設(shè)，先進(jìn)材料中試研發(fā)平臺(tái)與材料數(shù)字化平臺(tái)正加緊論證。
全球頂尖的實(shí)驗(yàn)設(shè)備、優(yōu)異開(kāi)放的科研環(huán)境，讓寧波本土人才、“海歸”博士高鐘偉毫不猶豫地選擇了甬江實(shí)驗(yàn)室。作為即將啟用的材料分析與檢測(cè)平臺(tái)的一員，高鐘偉的工作是檢測(cè)分析高純材料的微量元素?！斑@是一項(xiàng)基礎(chǔ)性工作，卻也是新材料和器件制備的必備環(huán)節(jié)。目前，我們已有不少項(xiàng)目在推進(jìn)?！?/span>
“從0到1”，厚植產(chǎn)業(yè)。一批新材料領(lǐng)域“硬核”成果正在落地。在省科技廳尖兵計(jì)劃支持下，朱光研究員在光固化3D打印領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破性進(jìn)展：新一代離型膜技術(shù)大幅提升了打印速度，新型分子結(jié)構(gòu)和固化路徑使得研發(fā)出的系列光敏樹(shù)脂性能上可對(duì)標(biāo)工程塑料，從根技術(shù)上突破了外國(guó)公司的專利壁壘。采用此技術(shù)制造的3D運(yùn)動(dòng)鞋底在緩震和使用壽命方面性能優(yōu)異，已獲ASICS，F(xiàn)ILA等國(guó)際一線運(yùn)動(dòng)品牌數(shù)十萬(wàn)雙的訂單，建成的“3D打印數(shù)字化示范工廠”正拓展至定制化消費(fèi)品和個(gè)性化醫(yī)療等多個(gè)領(lǐng)域。
值得一提的是，作為新型研究機(jī)構(gòu)，甬江實(shí)驗(yàn)室還積極探索全新科研組織模式，成立特種功能聚合物薄膜綜合技術(shù)研究中心，串聯(lián)上下游資源、形成協(xié)同創(chuàng)新共同體。
“我們將進(jìn)一步加大人才引進(jìn)集聚的力度、速度和精度，以人才引進(jìn)帶動(dòng)高能級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)建設(shè)，在關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)、產(chǎn)學(xué)研深度融合等方面取得一批標(biāo)志性成果，為浙江高質(zhì)量發(fā)展和共同富裕先行省建設(shè)提供澎湃的科技硬核動(dòng)力?！别瓕?shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人表示。
（來(lái)源：寧波市科技局）
