近日，在瑤光半導(dǎo)體（浙江）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“瑤光”）與浙工大莫干山研究院聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，企業(yè)的技術(shù)人員正對(duì)一臺(tái)激光退火設(shè)備進(jìn)行調(diào)試，再過(guò)幾天，這臺(tái)價(jià)值近700萬(wàn)元的設(shè)備將被運(yùn)往客戶手中。
“從今年4月企業(yè)簽約落地到實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)，前后不過(guò)4個(gè)多月時(shí)間，可以說(shuō)是跑出了加速度?！爆幑獍雽?dǎo)體（浙江）有限公司CEO葉忠平說(shuō)。
瑤光是莫干山研究院今年引進(jìn)的標(biāo)志性項(xiàng)目之一，主要從事第三代寬禁帶半導(dǎo)體制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前公司已完成瑤光閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)，并擁有瑤光功率芯片背面激光退火方法，自主創(chuàng)新瑤光SiC外延生長(zhǎng)方案，惰性氣體屏障技術(shù)等多項(xiàng)專有技術(shù)。
“目前我們已實(shí)現(xiàn)公司拳頭產(chǎn)品——激光退火設(shè)備的量產(chǎn)，具備逐行退火以及局部退火兩種模式的選擇，目前正在進(jìn)行MOCVD外延設(shè)備的研發(fā)?！比~忠平介紹，近年來(lái)，受到國(guó)外對(duì)我國(guó)出口半導(dǎo)體設(shè)備的限制、國(guó)產(chǎn)化需求的升溫，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)一直在加速奔跑。為順應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，拓展國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，公司在研發(fā)時(shí)，一直在追求實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)更高效、可靠性更高。
搶占市場(chǎng)并非易事。“我們的激光退火設(shè)備已能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)拍300秒的生產(chǎn)效率。”葉忠平自信地說(shuō)，節(jié)拍300秒，即在從抓取晶圓到芯片完成激光退火的完整周期是300秒，領(lǐng)先于其他同類型設(shè)備，能有效為企業(yè)降低生產(chǎn)成本。不僅如此，在智能制造的浪潮之下，企業(yè)不斷擴(kuò)大研發(fā)投入，加大自主創(chuàng)新力度，賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化。“預(yù)計(jì)在今年第四季度，我們能夠完成MOCVD外延設(shè)備的裝配，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的空白?！?/span>
目前，該公司正在加緊布局莫干山研究院產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新園的生產(chǎn)空間以擴(kuò)大產(chǎn)能，預(yù)計(jì)今年第四季度投入使用。“這里的一期項(xiàng)目設(shè)置了1000平方米的萬(wàn)級(jí)潔凈度無(wú)塵車間，在二期項(xiàng)目中我們規(guī)劃了2500余平方米的百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間，滿足設(shè)備不同的生產(chǎn)要求。”葉忠平表示，未來(lái)，公司將積極推動(dòng)自主研發(fā)，突破核心技術(shù)的束縛，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈向高端制程的邁進(jìn)，并與芯片研發(fā)制造企業(yè)共創(chuàng)，共同推動(dòng)技術(shù)的進(jìn)步和創(chuàng)新。
（來(lái)源：湖州市科技信息研究院）
