近日，中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所碳基薄膜與涂層技術(shù)研究團隊自主研制的系列高離化磁控濺射鍍膜儀，通過專家評審遴選，被納入《中國科學(xué)院自主研制科學(xué)儀器2022》產(chǎn)品名錄，通過《中國科學(xué)院院刊》平臺出版并進行了重點展示?！ ?/span>
“工欲善其事，必先利其器”?？茖W(xué)儀器是科技創(chuàng)新的重要基礎(chǔ)，是新材料重大科學(xué)發(fā)現(xiàn)和技術(shù)突破的重要保障。加強高端科研儀器設(shè)備研發(fā)制造，實現(xiàn)高水平科技自立自強，科學(xué)儀器自主研制是應(yīng)有之義。表面工程作為一門交叉學(xué)科，發(fā)展方興未艾。基于真空等離子體放電技術(shù)制備的薄膜和涂層材料，應(yīng)用廣闊，不僅是信息、生命、能源等領(lǐng)域核心器件微型化、功能化、集成化、柔性化的關(guān)鍵材料技術(shù)，更是解決空天、海洋、制造等裝備系統(tǒng)表面抗磨損、耐腐蝕、抗氧化服役性能不足的核心保障。然而，我國當(dāng)前大部分高端鍍膜裝備儀器還依賴進口、關(guān)鍵部件往往受制于人，難以支撐重大原創(chuàng)成果產(chǎn)出?！ ?/span>
寧波材料所碳基薄膜與涂層技術(shù)研究團隊多年來一直致力于表面強化涂層與功能改性技術(shù)研究，同時非常重視PVD涂層裝備的自主研發(fā)，在核心放電源模塊、成套系統(tǒng)等方面取得了系列重要成果。團隊搭建了探針、光譜、質(zhì)譜原位診斷平臺，建立了高離化等離子體放電基礎(chǔ)理論，研制出8套高離化大面積穩(wěn)定放電PVD復(fù)合鍍膜儀，發(fā)展了非晶碳基和MAX相為主的防護涂層技術(shù)，支撐了深海、核電、航空等高技術(shù)裝備發(fā)展。團隊自2008年起先后承擔(dān)4項中科院裝備研制和修購科研任務(wù)，形成涂層材料-工藝-裝備-應(yīng)用的授權(quán)發(fā)明專利69件，有關(guān)高離化裝備制備多元金屬摻雜碳基復(fù)合涂層專利獲2021年度寧波市高價值專利大賽金獎，相關(guān)涂層技術(shù)應(yīng)用成果獲2020年度寧波市科技進步一等獎?！ ?/span>
此次出版《中國科學(xué)院院刊》?？芍袊茖W(xué)院條件保障與財務(wù)局指導(dǎo)推進，主要從數(shù)理與天文科學(xué)、化學(xué)與材料科學(xué)、信息與工程科學(xué)、地球與環(huán)境科學(xué)、生命與醫(yī)學(xué)科學(xué)5個領(lǐng)域，遴選出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、技術(shù)成熟度高、具有重要應(yīng)用推廣價值的核心儀器產(chǎn)品，編制成產(chǎn)品名錄進行重點展示，供廣大科技工作者、相關(guān)部門和企業(yè)等參考。
（來源：寧波市科技局）
