近日，浙江省科技廳公布了2021年度省重點研發(fā)計劃擬立項項目清單，全省共8個項目被列入進口替代應急攻關計劃，我市占據兩席，位居全省第二,爭取到項目經費600萬元。這兩個項目分別是由浙江中寧硅業(yè)有限公司承擔的“集成電路-高純四氟化硅氣體研發(fā)與產業(yè)化研究”項目和浙江凱圣氟化學有限公司承擔的“超純氨水關鍵技術開發(fā)”項目。近年來，隨著中美貿易摩擦的加劇和美國對我國高科技產業(yè)打壓的進一步升級，國內企業(yè)發(fā)展受到了嚴重沖擊。我國加快關鍵核心技術攻關，解決進口替代問題，建立自主創(chuàng)新體系已經到了刻不容緩的地步。黨的十八大以來，以習近平同志為核心的黨中央高度重視科技創(chuàng)新工作。黨的十九屆五中全會對科技自立自強作出戰(zhàn)略部署，發(fā)出了加快建設科技強國的沖鋒號和最強音。加快科技創(chuàng)新發(fā)展，關鍵要堅持問題導向和需求導向，瞄準產業(yè)鏈供應鏈“卡脖子”技術問題，持續(xù)用力破除制約科技創(chuàng)新發(fā)展的關鍵瓶頸和突出問題。我局積極貫徹落實上級決策部署，高度重視關鍵核心技術的攻關，提前謀劃，精準布局。在2021年省級重點研發(fā)項目申報項目啟動之前，我局通過部門協(xié)同，市、縣聯(lián)動，迅速開展“卡脖子”技術和進口替代技術需求摸排。針對我市制造業(yè)產業(yè)集群相關產業(yè)鏈的關鍵技術、關鍵材料、關鍵零部件、關鍵產品等，摸排突出斷供風險或潛在斷供風險。重點支持有基礎、有條件、有優(yōu)勢的企業(yè)和研發(fā)機構開展科研攻關，力爭在短期內能取得替代國外進口實現(xiàn)國產化替代和整機配套的技術（成果）。通過精準摸排，推薦浙江中寧硅業(yè)有限公司、浙江凱圣氟化學有限公司積極申報省進口替代應急攻關計劃。浙江中寧硅業(yè)有限公司承擔的“集成電路-高純四氟化硅氣體研發(fā)與產業(yè)化研究”項目，旨在通過關鍵核心技術攻關，實現(xiàn)高純四氟化硅氣體國產化。高純四氟化硅氣體是半導體集成電路行業(yè)中的一種重要原料，目前工業(yè)化生產主要在美國和日本，如美國的聯(lián)合化學公司，日本的關東電化公司以及昭和電工化學公司，國內高純四氟化硅氣體100%依賴進口。浙江中寧硅業(yè)有限公司自2018年開始經過近三年的研究開發(fā)，已經基本打通高純四氟化硅氣體的技術路線。經過該項目的實施，高純四氟化硅氣體可實現(xiàn)年產能300噸，純度達到5N以上，打破國外壟斷，實現(xiàn)國產化替代。浙江凱圣氟化學有限公司承擔的“超純氨水關鍵技術開發(fā)”項目，旨在通過關鍵技術攻關，實現(xiàn)12吋硅晶圓制造時使用的超純氨水的國產化。超純氨水主要用于集成電路制造過程中的芯片清洗，是電子化工材料的重要組成部分。目前工業(yè)化生產主要在德國和日本，如德國的巴斯夫，日本的三菱瓦斯，國內UP-S級以上氨水基本依賴進口。浙江凱圣氟化學有限公司在原有電子級氨水生產技術基礎上，通過兩年多的技術攻關，超純氨水可實現(xiàn)年產能5000噸，產品品質基本達到UP-SS級，突破國外技術堡壘，加速國產化步伐。
（來源：衢州市科技局）
