在清潔無塵的車間里，一枚枚形狀酷似黑膠唱片的硅片在工藝線上有序流轉(zhuǎn)，經(jīng)歷倒角、研磨、腐蝕、熱處理、拋光……日前，杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司的首批8英寸（200mm）半導(dǎo)體硅拋光片順利下線。
這是出自杭州制造的第一批大硅片，意味著杭州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在制造領(lǐng)域往前邁出了一大步。據(jù)悉，中芯晶圓的12英寸硅片也將于今年12月下線，未來量產(chǎn)后企業(yè)可實現(xiàn)8英寸半導(dǎo)體硅片年產(chǎn)420萬枚、12英寸半導(dǎo)體硅片年產(chǎn)240萬枚。
在業(yè)內(nèi)，芯片被比喻為一座微型城市，上面有著長度達(dá)數(shù)公里的導(dǎo)線以及幾千萬甚至上億根晶體管。而硅片，就是讓這些元件“安家落戶”的“地基”。
硅片制造對制程技術(shù)、環(huán)境設(shè)備的要求很嚴(yán)，且硅片越大要求越嚴(yán)。
目前國內(nèi)半導(dǎo)體硅片大多只能達(dá)到4至6英寸硅片的性能需要，少量能供應(yīng)8英寸市場，但在12英寸硅片領(lǐng)域幾乎是空白。另一面則是，大硅片在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域有極大應(yīng)用。比如，8英寸硅片被多用于傳感、安防領(lǐng)域以及電動汽車、高鐵等功率器件。12英寸硅片的應(yīng)用主要是邏輯芯片和記憶芯片，用于無人駕駛等領(lǐng)域。
由日本Ferrotec株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成立的中芯晶圓，是我國半導(dǎo)體大尺寸硅片生產(chǎn)的“標(biāo)桿工廠”。2017年9月28日，中芯晶圓落戶錢塘新區(qū)，首個項目包括3條8英寸（200mm）、兩條12英寸（300mm）半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。
隨著昨日第一批大硅片的產(chǎn)出，該項目進(jìn)入送樣試產(chǎn)階段，預(yù)計今年10月就能實現(xiàn)8英寸硅片的量產(chǎn)。同時，12英寸硅片也將在今年12月完成下線、送樣認(rèn)證，于明年實現(xiàn)量產(chǎn)。
“從去年2月打下第一根樁到現(xiàn)在產(chǎn)品下線，我們總共用了16個月。”Ferrotec中國董事局主席、CEO賀賢漢表示，中芯晶圓之所以能創(chuàng)造大硅片項目的“杭州速度”，與省、市以及錢塘新區(qū)各級各部門的全力支持和“管家式”服務(wù)密不可分。
據(jù)悉，整個項目達(dá)產(chǎn)后將成為國內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最成熟的大尺寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地，實現(xiàn)8英寸半導(dǎo)體硅片年產(chǎn)420萬枚、12英寸半導(dǎo)體硅片年產(chǎn)240萬枚，年產(chǎn)值近40億元。
作為數(shù)字經(jīng)濟(jì)的核心產(chǎn)業(yè)，集成電路是杭州打造“數(shù)字經(jīng)濟(jì)第一城”過程中重點培育的產(chǎn)業(yè)。經(jīng)過多年發(fā)展，杭州集成電路產(chǎn)業(yè)已經(jīng)涵蓋設(shè)計、制造、封測、材料和裝備全產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)域。目前，全市擁有集成電路企業(yè)122家，其中規(guī)上企業(yè)87家。
值得一提的是，杭州在芯片設(shè)計領(lǐng)域具有比較優(yōu)勢。數(shù)據(jù)顯示，去年全市設(shè)計領(lǐng)域的企業(yè)數(shù)量和業(yè)務(wù)收入分別占全省80%、90%以上。2018年，全市集成電路規(guī)上企業(yè)主營業(yè)務(wù)收入190.53億元，同比增長6.2%。其中設(shè)計業(yè)實現(xiàn)銷售收入118.34億元，設(shè)計規(guī)模僅次深圳、北京、上海，位列全國第四。
“杭州在芯片設(shè)計領(lǐng)域優(yōu)勢明顯，但我們在制造領(lǐng)域基礎(chǔ)相對薄弱。這次中芯晶圓大硅片項目的落地，不僅填補了杭州在硅片制造方面的空白，也會對整個產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展起到推動作用?！焙贾菔薪?jīng)信局副局長楊曉勇說，杭州正在集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈上“做文章”，未來會通過項目引進(jìn)和本地培育等方式，重點在模擬芯片制造、化合物半導(dǎo)體制造、存儲類芯片制造等領(lǐng)域進(jìn)行布局。
事實上，杭州集成電路產(chǎn)業(yè)近年來發(fā)展動能強勁，一個很重要原因是產(chǎn)業(yè)政策的支撐。早在去年7月，杭州就出臺集成電路產(chǎn)業(yè)的首個專項政策——《進(jìn)一步鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展專項政策》，重點支持企業(yè)創(chuàng)新研發(fā)、IP設(shè)計、掩膜流片、投資技改和首用推廣。
據(jù)悉，該政策發(fā)布以來已經(jīng)支持29個集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展項目，為企業(yè)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到了良好的助推作用。 來源：浙江在線
